佛山市政协主席陈扬莅临710公海线路考察指导
发布时间：
2025-04-14
4月14日上午，佛山市政协党组书记、主席陈扬莅临710公海线路考察指导工作。在公司董事长、技术副总王亮和工艺负责人陪同下，陈扬主席深入中试线洁净室，详细了解各关键工序设备调试进展。
在镀膜站与黄光站核心区域，负责人介绍：作为中试线的两个百级洁净区，其设备配置对标国际一流标准——镀膜工序引入两台不同型号 CVD 设备，兼顾量产需求与研发试验;公司掌握多类型薄膜工艺：低损耗厚膜氮化硅、氧化硅等，不仅应用于OPA硅光芯片生产，同时也满足光通信系列产品加工和材料销售。
工艺负责人介绍厚膜氮化硅工艺情况
负责人介绍：硅光芯片的线宽精度不需要电子芯片30nm以内，但对光刻对准要求非常高，黄光站配备省内唯一一台适配型号光刻机(目前已禁运)，针对光刻对准精度进行定制化设计，产能不仅满足当前OPA芯片市场需求，更兼容多类型硅光器件加工(如光通信、光传感)。
工艺负责人介绍光刻机相关指标和量产能力
在后道检测区域，负责人特别说明：公司技术团队联合某著名设备厂商，协助其研发出全国首台OPA硅光芯片定制化测试设备，可精准适配硅光器件特定指标检测(如光强、能量分布、传输损耗等)，并与AOI 缺陷识别、分选设备实现系统级数据互通，为后道芯片加工释放大量产能空间。
陈扬主席现场听取设备调试情况汇报
陈扬主席表示：政府对710公海线路OPA项目发展提供了大力支持，是作为佛山硅光产业的创新标杆来培育的。目前中试线设备已达到业内一流水准，要发挥好光刻机、CVD、测试机等核心装置的作用，在生产良率上也要力争业内一流。提高生产良率不光要设备性能好，生产管理和技术团队也要跟得上，要积极对标相关行业头部企业，引入先进运营管理经验，系统提高团队技术人员水平，发挥好中试线区位优势，打造具有业内高影响力的硅光中试线。
陈扬主席悉心指导710公海线路工程师团队
针对投产冲刺阶段重点工作，陈扬主席特别强调：“越是临近投产，越要绷紧安全弦、织密责任网。要对厂区安全管理、危化品管控、应急预案等进行再排查、再落实，以‘万无一失’的标准确保中试线安全平稳运行，期待下次到访时，能看到产线实现硅光芯片高效稳定生产，为后续规模化量产奠定坚实基础，同时为打造佛山产业科创名城多做贡献。”